凈化工程在一定空間范圍內(nèi)，將空氣中的微粒子，有害空氣，細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度，潔凈度，壓力，氣流速度與氣流分布，噪音振動及照明，靜電控制在某一需求范圍內(nèi)的工程學科。

　　潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應考慮到人的舒適度感，隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

　　具體工藝對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，凈化工程所以對溫度波動范圍的要求越來越小，例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多，相對濕度超過55％時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故，相對濕度在50％時易生銹，此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面耐難以清除。

　　一般情況下，手術(shù)室凈化工程空氣過濾器原則如下：。

　　1.正確確定過濾器特征，過濾器的特征主要凈化車間是過濾效率，阻力，穿透率，容塵量，過濾風速及處理風量等，在條件容許的情況下，應盡可能選用高效，低阻，容塵量大，過濾風速適中，處理風量大。

　　2.根據(jù)室內(nèi)要求的潔凈凈化標準，確定最末級的空氣過濾器的效率。

　　3.正確測定室外空氣的含塵量和塵粒特征，因為過濾器是將室外空氣過濾凈化后送入室內(nèi)，所以室外空氣的含塵量是一個很重要的數(shù)據(jù)，特別是在多級凈化過濾處理，選擇預過濾器時要將使用環(huán)境，備件費用，運行能耗，維護與供貨等因素綜合考慮后決定。