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建設(shè)百級無塵車間對凈化的要求

2020-09-17 15:20:50

電子制造業(yè)潔凈廠房設(shè)計是一項綜合性技術(shù)。為了達到合理設(shè)計、降低產(chǎn)品不良率、提高生產(chǎn)效率,有必要充分了解電子制造潔凈車間的特點。

無塵車間

電子制造車間的清潔度要求很高。溫度、濕度、風量、壓差、設(shè)備排氣按需控制。照明及潔凈室段風速按設(shè)計或規(guī)范控制。另外,這種潔凈室對靜電有極高的要求。嚴格的。其中,對濕度的要求更高。在過于干燥的車間內(nèi)極易產(chǎn)生靜電,對CMOS集成電路造成損壞。一般來說,電子車間的溫度控制在22℃左右,相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)的溫濕度規(guī)定)。此時,靜電能被有效地消除,使人感到舒適。芯片生產(chǎn)車間、集成電路潔凈室和磁盤制造車間是電子制造業(yè)潔凈室的重要組成部分。由于電子產(chǎn)品在制造和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和質(zhì)量有著極其嚴格的要求,主要控制顆粒物,以浮塵為主要對象,對環(huán)境的溫度、濕度、新風量、噪聲等也有嚴格的規(guī)定。


百級潔凈室所需換氣次數(shù):


100000級≥15次;


10000級≥20次;


1000≥30次;


100≥500次。


溫度要求:冬季>16℃;夏季<26℃;波動±2℃。溫度45-65%;


壓差:主廠房至相鄰房間≥5Pa平均風速:10100 0.3-0.5m/s;


GMP要求車間周圍的靜電濕度應稍高些;車間內(nèi)的靜電濕度應稍高些;


噪聲要求:噪聲≤65dB(A);


新風量要求:新風量為總送風量的10%-30%;


照度要求:照度300LX。


百級無塵車間的凈化要求主要依靠凈化氣流不斷稀釋室內(nèi)空氣,逐步排放室內(nèi)污染物,達到清潔效果。房間內(nèi)的氣流是非平行流動,速度不均,混合有回流或渦流。不同級別的凈化車間主要通過單位時間風量的差異來實現(xiàn)。


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